氮氣純化設(shè)備是以變壓吸附制得的粗氮為質(zhì)料，經(jīng)加氫催化除氧，冷凝水吸附兩級枯燥除塵，去除氮氣中的氧、水汽和塵土等雜質(zhì)，然后獲得高純度的氮氣。其人口的粗氮純度需求≥98％，出口精氮的純度≥99．999％，氧含量≤3μm，露點≤-65℃。

氮氣純化設(shè)備的原理如圖所示。

第一步是除氧。粗氮與增加的氫氣相混合后進人除氧器，在催化劑的效果下，使粗氮中的雜質(zhì)氧與氫反響生成水汽，除氧器溫度控制在80～100℃，這樣可使反響生成的水汽全部被氣流帶走，然后確保催化劑不致遭到水汽影響而中毒，可無需再生處置長期使用。

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第二步是冷凝除塵，氮氣和水汽先通過水冷卻器冷卻到常溫，然后進入冷凍式枯燥器進一步冷卻到露點以下，再進入汽水分離器，除掉氣體中冷凝下來的冷凝水。

第三步是深度枯燥。經(jīng)冷凝除濕后的氮氣的露點依然不能滿足需要，有必要持續(xù)進入分子篩吸附枯燥器深度枯燥，除掉微量的水分，使露點進一步降低到規(guī)劃的需求。

第四步是過濾除塵?？菰镂胶蟮牡獨庠偻ㄟ^氣體過濾器，除掉分子篩粉末等雜質(zhì)，便得到高純度、潔凈的精氮，直接輸送到爐區(qū)作安全氣、密封氣，或與氫氣混合后作為維護還原氣體。